2005年12月31日，我所稀薄气体课题组承担的科研装备研制项目“真空薄膜沉积系统”通过验收。 项目负责人樊菁研究员详细介绍了“真空薄膜沉积系统” 的研制内容、完成情况、性能指标以及经费使用情况，与会专家查阅了“项目合同书”、“测试报告”、“经费使用汇总表”以及项目申请等相关资料，并现场查看了实验系统及实验演示。专家组一致认为研制内容符合大面积薄膜制备工艺的国际发展趋势，研制的装置高性能地集成了真空、蒸发、加热、基板运动、过程控制和数据采集等功能，该系统装置既可对真空流场进行全面诊断研究，又可用于大面积均匀薄膜的制备研究，具有重要的科学研究和工业应用价值， 项目组自主开发的IMCAS－3R-PVD软件可以高效地模拟三维多组分蒸气射流场的相互作用和真空喷流羽流场，并可以准确预测薄膜制备工艺中十分关心的基片表面粒子通量。项目组利用该软件成功地实现了薄膜制备工艺的优化，并实际制备了厚度均匀的6英寸金属薄膜和4英寸钛酸锶薄膜；研制过程中，项目组成功地解决了大面积薄膜基片加热器的温度均匀性和寿命、蒸发源之间的干扰、真空流场的地对称性等薄膜制备的关键技术问题。 专家组同时认为，“该装置的性能完全达到了项目申请合同书中规定的技术指标”、“可进行大面积薄膜多组元共沉积，实现了实验测量和统计模拟相结合细致研究真空薄膜沉积的研制目标”，经过认真的提问和讨论，专家组一致同意通过验收。 LHD供稿