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    高分辨场发射扫描电镜

    生 产 厂 家: Zeiss
    仪器管理员: 王晶/段桂花
    电   话: 010-82543921
    邮   箱: wjing@imech.ac.cn/ghduan@lnm.imech.ac.cn
    安 放 地 点: 1号楼138

    规格型号

    Oxford X-Max N 80T

    主要功能与特色 

      高分辨场发射扫描电子显微镜主要用于观察、分析和记录材料的微观形貌,配置能谱仪和背散射电子衍射仪附件,可以实现样品表面微观区域成分分布的定性定量分析以及晶体取向和晶格参数分析

    关键技术指标 

      1)分辨率及放大倍数:标准模式下二次电子分辨率不低于以下参数:0.8nm@15KV, 1.4nm@1kV;放大倍数范围不小于20~2,000,000倍(宝丽来胶片基准),根据加速电压和工作距离的改变,放大倍数可自动校准,低倍率与高倍率之间无需模式更换;2)样品台行程:X :130mm;Y:130mm;Z: 50mm;T: -3o to 70o ;3)标准模式下加速电压可调范围不窄于20V~30 kV,以10V为步进连续可调,无需模式更换;4) EBSD: CMOIS数字相机,1K*1K以上像素分辨率,在识别率优于99%条件下每秒采集并解析3000点以上, 能谱仪和EBSD一体化采集、分析,64位最新软件,图像清晰度不低于4096*4096,可以自动和手动进行背景扣除。

    预约方式

    电话预约

    典型案例

    设置

    加速电压

    20.00 kV

    样品倾斜(度)

    70.00 °

    命中率

    98.95 %

    采集速度

    40.28 Hz

     

     

     

     
     
    版权所有 © 中国科学院力学研究所 京ICP备05002803号-1 京公网安备110402500049
    地址:北京市北四环西路15号 邮政编码:100190